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CHINO溫度計在半導(dǎo)體晶圓表面拋光溫度測量上的運(yùn)用

  • 發(fā)布日期:2024-07-12      瀏覽次數(shù):596
    • CHINO溫度計在半導(dǎo)體晶圓表面拋光溫度測量上的運(yùn)用

      ●適合裝置組裝的緊湊的檢測部

      ●可追隨溫度變化的高速響應(yīng)

      在半導(dǎo)體宇工哈的電腦技術(shù)置中,通過研磨晶片直至達(dá)到與基座相同的高度,從而達(dá)到規(guī)定的厚度。研究星期一開始調(diào)查后,晶片和基座之間會產(chǎn)生溫度差,但如果晶片達(dá)到與基座相同的高度,則溫度差消失。通過用放射溫度計測定研磨面的溫度,可以判斷研磨結(jié)束。

      光狀態(tài)可以通過溫度確定,利用反饋優(yōu)化加工過程

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      • 即使環(huán)境溫度發(fā)生變化,也可以進(jìn)行高精度和穩(wěn)定的測量。

      • 兼容要求15ms跟隨性的生產(chǎn)線

      • 范圍寬,從低溫范圍(0至1000℃)

      • 圖形記錄儀KR2000寬144x高144毫米
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      • KR2000系列是一款兼容網(wǎng)絡(luò)的無紙記錄儀,采用5.6英寸TFT彩色液晶顯示屏,具有出色的可視性,兼具高功能性和可操作性。采集周期約為100ms,精度為±0.1%FS,實現(xiàn)高速、高精度。測量數(shù)據(jù)可保存在內(nèi)存和最大8GB的緊湊型閃存卡(CF卡)中。可以使用網(wǎng)絡(luò)瀏覽器屏幕從內(nèi)聯(lián)網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)上的多臺計算機(jī)進(jìn)行監(jiān)控,并且可以通過 FTP 傳輸數(shù)據(jù)文件或通過電子郵件發(fā)送數(shù)據(jù)文件。

      • 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能,網(wǎng)絡(luò)兼容無紙記錄儀,并支持自定義圖形

      • 共22種多量程輸入(直流電壓、熱電偶、測溫電阻)

      • 配備趨勢顯示、棒圖顯示、數(shù)值顯示等多種顯示功能。

      • 最大8GB的CF卡可用于數(shù)據(jù)記錄,因此可以長期連續(xù)記錄。

      • 配備算術(shù)、比較、邏輯運(yùn)算等計算功能,還可以對輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)定運(yùn)算并顯示和記錄。

      • 報警輸出和上/下通訊可供選擇??梢允褂孟聦油ㄐ庞涗泚碜允惺跴LC*的數(shù)據(jù),也可以從KR2000將數(shù)據(jù)寫入PLC。(*PLC 型號有限制。)

      • 通過使用可選的自定義圖形功能,用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕(使用 KR Screen Designer,單獨(dú)出售)可以顯示在 KR 上。

      • 測量數(shù)據(jù)記錄在內(nèi)存和CF卡中,并且可以在主機(jī)上回放。此外,通過使用分析/數(shù)據(jù)采集應(yīng)用軟件TRAMS,您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數(shù)據(jù)文件。

      • 圖形記錄儀KR3000寬288x高288毫米
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      • KR3000系列是一款兼容網(wǎng)絡(luò)的無紙記錄儀,采用可視性佳的12.1英寸TFT彩色液晶顯示屏和觸摸屏操作系統(tǒng),功能強(qiáng)大且易于操作。采集周期約為100ms/所有點(diǎn),精度為±0.1%FS的高速和高精度。測量數(shù)據(jù)可保存在內(nèi)存和最大8GB的緊湊型閃存卡(CF卡)中??梢允褂镁W(wǎng)絡(luò)瀏覽器屏幕從內(nèi)聯(lián)網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)上的多臺計算機(jī)進(jìn)行監(jiān)控,并且可以通過 FTP 傳輸數(shù)據(jù)文件或通過電子郵件發(fā)送數(shù)據(jù)文件。

      • 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能,網(wǎng)絡(luò)兼容無紙記錄儀,并支持自定義圖形

      • 共22種多量程輸入(直流電壓、熱電偶、測溫電阻)

      • 配備趨勢顯示、棒圖顯示、數(shù)值顯示等多種顯示功能。

      • 最大8GB的CF卡可用于數(shù)據(jù)記錄,因此可以長期連續(xù)記錄。

      • 配備算術(shù)、比較、邏輯運(yùn)算等計算功能,還可以對輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)定運(yùn)算并顯示和記錄。

      • 報警輸出和上/下通訊可供選擇??梢允褂孟聦油ㄐ庞涗泚碜允惺跴LC*的數(shù)據(jù),也可以從KR3000將數(shù)據(jù)寫入PLC。(*PLC 型號有限制。)

      • 測量數(shù)據(jù)記錄在內(nèi)存和CF卡中,并且可以在主機(jī)上回放。此外,通過使用分析/數(shù)據(jù)采集應(yīng)用軟件TRAMS,您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數(shù)據(jù)文件。

      • 通過使用可選的自定義圖形功能,用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕(使用 KR Screen Designer,單獨(dú)出售)可以顯示在 KR 上。



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