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更新日期：2024-03-23
簡要描述：
thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇
| 品牌 | 其他品牌 | 燃料 | 電加熱鍋爐 |
|---|---|---|---|
| 結(jié)構(gòu)形式 | 立式 | 出口壓力 | 高壓 |
thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇
石墨烯、碳納米管
氧化鋅納米線
絕緣膜，如SiO2等
此外，它可以作為熱水型熱CVD裝置廣泛用于各種用途。
緊湊的系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積實(shí)驗(yàn)
熱水式反應(yīng)管內(nèi)部均勻加熱
4 個系統(tǒng)（用于 CH4、Ar、H2、起泡器） MFC 高精度流量控制：精度±1% F.S.
帶電容壓力計(jì)的高精度APC壓力控制
通過可選的實(shí)驗(yàn)室視圖軟件進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，數(shù)據(jù)分析
thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
| 石英爐芯管尺寸 | Φ2.5英寸或Φ4英寸 x 長12" |
| 樣本量 | 10 x 10毫米（2.5英寸）、100 x 100毫米（4英寸） |
| 溫度控制 | PID編程溫度控制器 |
| 爐壓控制 | APC自動壓力控制 |
| 極限壓力 | 5 x 10-3 托 |
| 真空計(jì) | 食人魚計(jì)，電容壓力計(jì) |
| 真空泵 | 旋轉(zhuǎn)泵 |
| 質(zhì)量流量控制器 | 0-50SCCM（CH4） |
| 0-500sccm（Ar） | |
| 0-1000sccm（H2） | |
| 0-50sccm（用于起泡劑、酒精劑或無毒液前體） |
