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日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020 噴頭

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更新日期:2024-03-24

簡(jiǎn)要描述:

日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020
緊湊型緊湊型氣體加熱,最高加熱溫度為200°C。

日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020 噴頭
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日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020

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緊湊型緊湊型氣體加熱,最高加熱溫度為200°C。

特點(diǎn)

  • 設(shè)計(jì)緊湊,面之間 160 mm ×寬 55 mm

  • 加熱 N2 氣體 10SLM 至 200°C

  • 能夠加熱不腐蝕氣體接觸材料的氣體(SUS316L)

  • 也可在真空和加壓下使用

使用示例

原子層沉積和 CVD 設(shè)備熱吹掃

液化氣體通常用于ALD和CVD等真空沉積,但用室溫氣體吹掃會(huì)使溫度冷卻并冷凝,相反,吹掃可能不足。 這就是熱吹掃的用武之地。 緊湊型氣體加熱器 (HX-0020) 的占地面積與 MFC 沒(méi)有太大區(qū)別,可以加熱到 200°C,使氣體加熱接近使用點(diǎn),使其成為 ALD 和 CVD 等真空沉積設(shè)備熱吹掃的理想選擇。

日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020

規(guī)格



流量(N2當(dāng)量)壓降 (N2)耐壓 (G)工作溫度氣體接觸部件材料
規(guī)范10SLM14kPa1兆帕200°C不銹鋼316L






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